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[1]高纯氧应用高纯氧用于二氧化硅的化学气相沉积;作为氧化源与产生高纯水的反应剂;干法氧化;与四氟化碳混合,用于等离子刻蚀。氧的主要用途源于它能维持生命和助燃性质;在冶金工业中有广泛应用。还可用于水质处理。所有的氧化反应和燃烧过程

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高纯氧是一种无色无臭无味气体,分子式是O2。中文名高纯氧英文名highpurityoxygen化学式O2纯度≥目录1物理性质2化学性质3制取方法及应用▪制取方法▪应用4氧气纯度5注意事项高纯氧物理性质编辑highpurityoxy

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