石英晶圆（Quartz wafer）
石英晶圆 W1153 单晶石英.jpg
石英晶圆的材质主要有两种：熔融石英（fused silica quartz）和单晶石英（single crystal quartz）。
熔融石英是玻璃状的石英,因此是各向同性的。 熔融石英坚硬,具有非常低的热膨胀系数。熔融石英具有多种类型，分别有不同的用途。我们这里介绍三种：JGS1、JGS2、JGS3。
l JGS1，在紫外和可见光波段透明性好，不含气泡和杂质，高能激光领域的使用材料，可用于制作光学元件：透镜、棱镜等。
l JGS2通常用于反射镜基底，含有较多小气泡。
l JGS3在红外波段有很好的透过率，但是包含很多气泡。
所有的单晶石英都是由一种特殊的籽晶生长而成。切割类型的不同会导致籽晶的定位不同。一种类型籽晶在晶片内部，名为“With Seed”，另一种类型籽晶不在晶片内部，因此命名为“无籽”。单晶石英可分为三个区域：X/Y和Z区。无籽意味着晶片处于纯X/Y或Z区。
经常用到的参数是切型，常见的切型：AT-cut、ST-cut、Z-cut等。
货号 产品描述 尺寸 规格
W1951 熔融石英、厚500μ、双面抛 50.8mm 10片
W518 熔融石英、厚500μ、双面抛 100mm 10片
W1943 熔融石英、厚1000μ、双面抛 100mm 10片
W1950 熔融石英、厚180μ、双面抛 100mm 10片
W2090 熔融石英、厚500μ、双面抛 150mm 10片
W1153 单晶石英、厚100μ、双面抛，Z-cut 50.8mm 10片
W566 单晶石英、厚350μ、单面抛，ST-cut 76.2mm 10片
W547 单晶石英、厚350μ、单面抛，ST-cut 100mm 10片
W2298 单晶石英、厚500μ、双面抛，Z-cut 100mm 10片
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