超平硅片（AFM、SEM用硅片）
常作为AFM基底片用在科学研究中，超平硅片的一些参数如下：
4" 6" 8"
直径 100 mm 150 mm 200 mm
向性 <100> <100> <100>
级别 P/Boron P/Boron P/Boron
Growth Method: CZ CZ CZ
电阻率 10-20 Ohm-cm 10-20 Ohm-cm 10-20 Ohm-cm
厚度 525μm ±20μm 675μm ±20μm 725μm ±20μm
TTV: <4.00μm <4.00μm <4.00μm
SFPD: <2.0μm <2.0μm <2.0μm
Warp: ≤30μm ≤30μm ≤30μm
Bow: ≤30μm ≤30μm ≤30μm
微粒数 ≤20@≥0.3μm ≤20@≥0.3μm ≤20@≥0.3μm
正面Front Surface Polished Polished Polished
背面Back Surface Etched Etched Etched
平整度Flat: 2 per SEMI Standard 1 per SEMI Standard 2 per SEMI Standard
Site Flatness: <2.0μm <2.0μm <2.0μm
粗糙Roughness Typically 2-3? Typically 2-3? Typically 2-3?
产品选购：
货号 产品名称 规格
71893-01 Ultra-Flat Silicon Wafer, 4"超平硅片 1片
71893-02 Ultra-Flat Silicon Wafer, 6"超平硅片 1片
71893-03 Ultra-Flat Silicon Wafer, 8"超平硅片 1片
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