用于扫描电镜放大倍数校准（同时评估图象扭曲度），也可用于光学显微镜。5mm x 5mm见方，每10μm (0.01mm)有一方格，格与格之间分割线大约为1.9μm宽，每隔500μm有一稍宽的分隔线，用于光学显微镜检测；分隔线和方格由光蚀刻形成，约200nm深。不同样品均可以直接置于单晶硅标样上，从而低倍电镜或者光镜进行内部标定。
可根据扫描电镜型号的不同选择试样及所带的样品台。
订购信息：
货号 产品名称 规格
79502-01 Silicon Test Specimen, Unmounted单晶硅试样 1
79502-10 Silicon Test Specimen, Unmounted 10/pk
79502-12 Silicon Test Specimen on 12.5mm Pin Stub 1
79502-20 Silicon Test Specimen for Incident LM 1
79502-30 Calibration Certificate带有认证书的单晶硅试样 1
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